299.
(11) 2085841
(46) 27.07.97
(51) 6 G 01 В 21/00
(21) 94038352/28
(22) 11.10.94
(71) Институт лазерной физики СО РАН
(72) Багаев С. Н., Орлов В. А, Рыбушкин А Ю., Семибаламут В. М., Фомин Ю. Н.
(73) Институт лазерной физики СО РАН
(54) ДВУХЧАСТОТНАЯ ИНТЕРФЕРОМЕТРИЧЕСКАЯ СИСТЕМА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ЛИНЕЙНЫХ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ
(57) Изобретение относится к лазерной измерительной технике. Техническим результатом использования изобретения является получение прямого сигнала перемещений при одновременном упрощении системы регистрации, повышении ее надежности и уменьшенном ее стоимости. Результат достигается тем, что двухчастотная интерферометрическая система содержащая лазерные источники, уголковый отражатель, связываемый с объектом, два оптических смесителя, два фотоприемника, радиогенератор, электронный блок частотно - фазовый автоматический подстройки, первый и второй входы которого связаны с выходами второго фотоприемника и генератора, а выход - с пьезоэлементом второго лазерного источника, и реверсивный счетчик, два входа которого связаны с выходами первого и второго фотоприемников, снабжены вторым уголковым отражателем, третьим оптическим смесителем, третьим фотоприемником, дополнительным пьезоэлементом, высоковольтным усилителем и фазовым детектором, два его входа соединены с выходами второго и третьего фотоприемников, а выход - со входом высоковольтного
усилителя, выход которого соединен с дополнительным пьезоэлементом, связанным с первым лазерным источником, первый уголковый отражатель и оптический смеситель оптически связывают первые выходы лазерных источников с первым фотоприемником и образуют измерительное оптическое плечо интерферометра, второй оптический смеситель оптически связывает вторые выходы лазерных источников с вторым фотоприемником и образуют опорный оптический канал частотно-фазовой привязки, а третий оптический смеситель и второй уголковый отражатель связывают вторые выходы лазерных источников, с третьим фотоприемником и образуют компенсационное оптическое плечо интерферометра. 2 ил.
|
