258.
(11) 2119730
(46) 27.09.98
(51) 6 Н 05 Н 3/02, Н 01 J 27/02,
С 23 С 14/35
(21) 96123506/25
(22) 16.12.96
(71) Институт ядерной физики СО РАН
(72) Волосов В. И., Чуркин И. Н., Стешов А Г.
(73) Институт ядерной физики СО РАН
(54) ИСТОЧНИК МНОГОКОМПОНЕНТНЫХ АТОМАРНЫХ ПОТОКОВ
(57) Изобретение относится к электрофизике, в частности к системам, служащим для получения потоков частиц, используемых, например, для вакуумного нанесения тонких пленок В качестве источника многокомпонентных атомарных потоков, состоящих из потока тяжелых атомов с энергией распыления, и потока быстрых атомов с энергией, определяемой напряжением на разряде, применяется ловушка с вращающейся плазмой. Изобретение позволяет повысить мощность источника многокомпонентных потоков частиц, упростить его конструкцию, снизить затраты на изготовление и эксплуатацию устройства. 2 ил.
|
|
