17.
(11) 2128548
(46) 10.04.1999
(51) 6 B 01 J 3/06, C 30 B 29/04
(21) 97103542/25
(22) 06.03.1997
(71) Конструкторско-технологический институт монокристаллов СО РАН
(72) Чепуров А.И., Федоров И.И., Сонин В.М., Багрянцев Д.Г., Чепуров А.А., Жимулев Е.И., Григораш Ю.М.
(73) Конструкторско-технологический институт монокристаллов СО РАН
(54) РЕАКЦИОННАЯ ЯЧЕЙКА ДЛЯ ВЫРАЩИВАНИЯ АСИММЕТРИЧНО ЗОНАЛЬНЫХ МОНОКРИСТАЛЛОВ АЛМАЗА
(57) Изобретение относится к области выращивания монокристаллов алмаза для алмазного инструмента. Ячейка содержит снабженные запирающими таблетками графитовый нагревательный элемент с токовводными графитовыми крышками и токовводными стержнями и внутреннюю втулку. Выполнение токовводного стержня с выступами над центральной частью запирающей таблетки высотой 0,2-0,3 мм и выбор толщины токовводной крышки, в 3-5 раз превышающей толщину стенки нагревателя, а также расположение затравочных кристаллов в количестве 3-10 шт. по периметру подложки на расстоянии 0,3 - 0,5 мм от ее края и выполнение подложки из смеси оксидов циркония, кальция и магния при обеспечении соотношения компонентов ZrO2 80-90, CaO 10-15, Mg не более 10 вес. % обеспечивают получение асимметрично зональных кристаллов алмаза, где дефектная часть локализована с одного края. 1 ил.
1 - трубчатый графитовый нагреватель, 2 - токовводные графитовые крышки, 3 - молибденовые диски, 5 - запирающие таблетки, 6 - изолирующая таблетка, 7 - изолирующая втулка из оксида магния, 8 - графит, 9 - железо-никелевый металл-растворитель, 10 - подложка, 11 - затравочные кристаллы алмаза.
|
|
