92.
(11) 2131480
(46) 10.06.1999
(51) 6 C 23 C 14/06, 14/48
(21) 97112300/02
(22) 15.07.1998
(71) Институт сильноточной электроники СО РАН
(72) Щанин П.М., Коваль Н.Н., Борисов Д.П., Гончаренко И.М.
(73) Институт сильноточной электроники СО РАН
(54) СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗНОСОСТОЙКОГО ПОКРЫТИЯ НА ПОВЕРХНОСТИ ИЗДЕЛИЙ ИЗ КОНСТРУКЦИОННОЙ СТАЛИ
(57) Способ формирования износостойкого покрытия на поверхности изделий из конструкционной стали включает ионно-плазменное азотирование в среде реактивного газа - азота, очистку поверхности детали и нанесение нитрида титана из плазменной фазы, причем азотирование, очистку поверхности и нанесение нитрида титана осуществляют в одной вакуумной камере в плазме дугового и газового разряда с накаленным катодом в едином цикле, образуя на поверхности деталей трехслойную структуру, при этом азотирование проводят при давлении реактивного газа 5·10-3 - 2·10-2 мм рт. ст., отрицательном напряжении смещения на деталях 300-1000 В и плотности ионного тока 2-8 мА/см2 в течение 30-90 мин, очистку проводят в плазме инертного газа - аргона при давлении 3·10-4 - 7·10-4 мм рт. ст. и плотности тока 3 - 5 мА/см2, а нанесение нитрида титана осуществляют со скоростью 2 мкм/ч в течение 60 - 90 мин при одновременной работе генератора газоразрядной плазмы и дугового испарителя при отрицательном напряжении смещения на детали 300 - 600 В, токе электродугового испарителя 50-200 А, давлении реактивного газа 3·10-4 - 2·10-3 мм рт. ст. Способ позволяет интенсифицировать процесс и увеличить эксплуатационную стойкость машин, испытывающих высокие удельные нагрузки в процессе трения. 1 табл.
|
|
