93.
(11) 2135633
(46) 27.08.1999
(51) 6 C 23 C 14/22
(21) 97119203/02
(22) 18.11.1997
(71) Институт ядерной физики СО РАН
(72) Волосов В.И., Чуркин И.Н., Стешов А.Г.
(73) Институт ядерной физики СО РАН
(54) СПОСОБ ВАКУУМНОГО НАНЕСЕНИЯ ТОНКИХ ПЛЕНОК
(57) Изобретение относится к технической физике, в частности к способу вакуумного нанесения тонких пленок на поверхность твердого тела. Изобретение направлено на снижение затрат на производство, реализующее вышеуказанный способ, включая эксплуатационные расходы, повышение производительности и стабильность в работе, а также улучшение качества получаемых тонких пленок. Способ включает одновременное осаждение медленных атомов вещества и облучение поверхности ускоренными частицами, при этом в качестве ускоренных частиц используют ускоренные до энергии не менее 300 эв атомы как осаждаемого вещества, так и других веществ, при этом медленные и ускоренные атомы могут создаваться как одним источником, так и раздельными источниками. Твердое тело может находиться в атмосфере активного газа. 1 з.п.ф-лы, 2 ил.
1 - источник медленных атомов, 2 - источник ускоренных атомов, 3 - твердое тело.
|
|
